半導體製程

臺北科技大學 115-1 學期課程，課號 365926。

• 學期：115-1
• 授課教師：邱德威
• 學分：3
• 選修
• 上課時段：週三 7、8 節；週四 4 節

課程大綱

課程綱要： 1.半導體元件簡介 2.物理氣相沉積 3.化學氣相沉積 4.微影─光阻覆蓋，曝光，顯影 5.蝕刻─濕式蝕刻，乾式蝕刻 6.攙雜─擴散法，離子植入法 7.氧化和熱處理製程

課程進度

ch1 Introduction ch2 Introduction to IC fabricaiton ch3 Semiconductor Basic ch4 Wafer Manufacuring ch5 Thermal Process ch6 Photolithography ch7 Plasma Process ch8 Ion implantation

評量方式

報告40% 期中考30% 期末考30%

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 Introduction to Semiconductor Manufacuring Technology (Hong Xiao)