表面分析技術及應用

臺北科技大學 115-1 學期課程，課號 365421。

課程大綱

先修課程：負責教授同意 表面現象, 介面反應等與近代高科技技術, 如鍍膜工程,表面處理, 腐蝕, 磨潤, 微機電, 感測器, 半導體技術等息息相關, 且日益重要。表面分析是原子層次的相關研究, 它包括振動, 電子或離子頻譜分析, 微技術等之應用。主要的項目包含, 表面形貌觀察( SEM, BSEM, AFM ), 成份分析( 光譜分析, 質譜分析, EDX ), 結構分析( XRD, AES, ESCA, XPS ), 鍵結分析( Raman光譜, FTIR ), 表面粗糙度, 膜厚, 附著力, 內應力等膜之特性分析。

課程進度

第一週 材料分析技術之介紹與總覽 第二週 晶體結構及對稱性介紹 第三週 X光單晶及粉末繞射 第四週 X光薄膜分析技術 第五週 光學金相分析 第六週　 掃描式電子顯微鏡：原理、構造、試片製備 第七週　 掃描式電子顯微鏡：實例分析與應用 第八週　 電子探針微區分析儀：實例分析與應用 第九週　 掃描式探針顯微鏡：原理 第十週　 掃描式探針顯微鏡：儀器構造 第十一週　掃描式探針顯微鏡：實例分析與應用 第十二週　歐傑電子能譜儀：原理及儀器構造 第十三週　歐傑電子能譜儀：縱深分析及定量分析 第十四週　歐傑電子能譜儀：實例分析與應用 第十五週　化學分析電子儀：原理及儀器構造 第十六週　期末考試 第十七週 化學分析電子儀：應用 第十八週 化學分析電子儀：分析

評量方式

Case Review (10%) Final Exam (40%) Paper Review and Oral Report (50%)

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 材料分析Materials Analysis, 汪建民 主編，中國材料科學學會。 “Elements of X-ray Diffraction”, B. D. Cullity and S. R. Stock, 3rd ed., Prentice Hall: Upper Saddle River. Surface Analysis Methods in Materials Science, by D. J. O`Connor (Editor), B. A. Sexton (Editor), R. St. C. Smart (Editor). Springer. (高立圖書代理)