化合物半導體磊晶製程概論

臺北科技大學 115-1 學期課程，課號 364687。

課程大綱

本課程介紹有關化合物半導體的材料之基本性質與應用，課程內容包含材料特性、磊晶工程與技術、磊晶分析等面向進行授課，並著重於化合物半導體磊晶實務經驗及化合物半導體光電元件之應用。 The course covers the fundamental properties and applications of compound semiconductors, including materials properties, epitaxial growth and technology, epitaxial materials analysis, and focuses on practical experiences in compound semiconductor epitaxy and the application of compound semiconductor optoelectronic devices.

課程進度

1 化合物半導體材料簡介 Introduction to Compound Semiconductor Materials 2 化合物半導體晶體結構與特性(1) Crystal Structure and Properties of Compound Semiconductors (1) 3 化合物半導體晶體結構與特性(2) Crystal Structure and Properties of Compound Semiconductors (2) 4 真空技術(1) Vacuum Technology (1) 5 真空技術(2) Vacuum Technology (2) 6 塊材成長技術 Bulk Growth Techniques 7 磊晶工程基本概念 Basic Concepts of Epitaxial Engineering 8 磊晶工程技術-基板工程 Epitaxial Engineering Techniques - Substrate Engineering 9 期中考試 Midterm Exam 10 化合物半導體磊晶技術:PVD Compound Semiconductor Epitaxial Techniques: PVD 11 化合物半導體磊晶技術:PVD Compound Semiconductor Epitaxial Techniques: PVD 12 化合物半導體磊晶技術:CVD Compound Semiconductor Epitaxial Techniques: CVD 13 化合物半導體磊晶技術:CVD Compound Semiconductor Epitaxial Techniques: CVD 14 化合物半導體材料分析技術 Analysis Techniques for Compound Semiconductor Materials 15 化合物半導體材料分析技術 Analysis Techniques for Compound Semiconductor Materials 16 化合物半導體電子元件之應用 Applications of Compound Semiconductor Electronic Devices 17 化合物半導體光電元件之應用 Applications of Compound Semiconductor Optoelectronic Devices 18 期末考試 Final Exam

評量方式

期中考(選擇題)(30%)、 期末考(選擇題)(30%)、 出席及平時表現(40 %) Midterm Exam(30%)、 Final Exam(30%)、 Participation(40 %)

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 1.投影片與補充講義教學 2.課堂互動教學，包含練習及小考 3.期中、期末筆試(選擇題)或口頭報告 1. Teaching with slides and supplementary materials 2. Interactive classroom teaching, including exercises and quizzes 3. Midterm and final exams, or oral presentations