奈米材料與科技

臺北科技大學 115-1 學期課程，課號 364391。

課程大綱

奈米科技與半導體製程技術在近年來受到極大的重視，因此在本課程將介紹半導體基礎與最新的奈米技術，內容包含有基礎電子電路學與半導體製程(包含FinFET與GAA介紹)，以及奈米材料(如奈米碳管、石墨烯、二維奈米材料等)，期許可以帶給同學當今最新的奈米化技術與半導體相關之科技知識。 Nanotechnology and semiconductor manufacturing processes have received significant attention in recent years. Therefore, this course will introduce the fundamentals of semiconductors and the latest nanotechnology. The content includes basic electronic circuitry and semiconductor manufacturing processes, as well as nanomaterials such as carbon nanotubes, graphene, and two-dimensional nanomaterials. The aim is to provide students with the latest knowledge in nanotechnology and semiconductor-related technologies.

課程進度

Week 1: Introduction to Semiconductor Industry Chain Week 2: Nanotechnology & Semiconductor Physics Week 3: Basic Electrical Engineering Week 4: Semiconductor Fabrication: Silicon Wafer Processing Week 5: Semiconductor Fabrication: Oxidation and Diffusion Week 6: Semiconductor Fabrication: Photolithography Week 7: Semiconductor Fabrication: Ion Implantation and Plasma Week 8: Semiconductor Fabrication: Etching Processes Week 9: Midterm Exam Week 10: Semiconductor Fabrication: Chemical Vapor Deposition (CVD) Week 11: Semiconductor Fabrication: Metallization and Physical Vapor Deposition (PVD) Week 12: Semiconductor Fabrication: Chemical Mechanical Polishing (CMP) Week 13: Semiconductor Fabrication: Integration and IC Process Technology Week 14: Semiconductor Fabrication: Advanced Semiconductor Devices Week 15: Nanotechnology: Fullerenes Week 16: Nanotechnology: Carbon Nanotubes Week 17: Nanotechnology: Graphene Week 18: Final Exam 第一周 半導體產業鏈與奈米科技介紹 第二周 半導體物理 第三周 基本電學 第四周 半導體製程: 矽晶圓處理 第五周 半導體製程: 氧化擴散 第六周 半導體製程: 黃光微影 第七周 半導體製程: 離子佈植與電漿 第八周 半導體製程: 蝕刻製程 第九周 期中考 第十周 半導體製程: 化學氣相沉積CVD 第十一周 半導體製程: 金屬化製程與物理氣相沉積 PVD 第十二周 半導體製程: 化學機械研磨CMP 第十三周 半導體製程: 半導體製程整合 & IC製程技術 第十四周 半導體製程: 先進半導體元件 第十五周 奈米科技: 富勒烯 第十六周 奈米科技: 奈米碳管 第十七周 奈米科技: 石墨烯 第十八周 期末考

評量方式

小考與平時表現 Quiz: 30% 期中考 Midterm 30% 期末考 Final term 40%

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 1. 蕭宏, "半導體製程技術導論"`, 第三版, 全華圖書 2. UMESH K. MISHRA, JASPRIT SINGH, "Semiconductor Device Physics and Design", Springer