電子顯微鏡

臺北科技大學 115-1 學期課程，課號 363953。

課程大綱

本課程介紹電子顯微鏡之結構，成像及繞射原理，以及在材料科學方面之應用，課程內容包括電子顯微鏡之構造，電磁透鏡與成像原理，電子繞射原理，繞射圖型分析，試片之製作方法。掃描式電子顯微鏡之構造及成像原理。EDS及WDS之X光光譜測量。

課程進度

第一週 材料分析技術之介紹與總覽 第二週 光學金相分析：原理、構造、試片製備 第三週 晶體結構及對稱性介紹 第四週 電子束繞射原理 第五週 電子顯微鏡之結構，成像及繞射原理 第六週　 掃描式電子顯微鏡：原理、構造、試片製備 第七週　 掃描式電子顯微鏡：冷/熱場放射差異比較 第八週　 掃描式電子顯微鏡：實例分析與應用 第九週　 掃描式電子顯微鏡：實例分析與應用 第十週　 能量分散方式(EDS)及波長分散方式(WDS)之光譜測量分析 第十一週　實例分析與應用 第十二週　電子探針微區分析儀：實例分析與應用 第十三週　縱深分析及半定量分析 第十四週　電子能譜解析 第十五週　各廠牌規格介紹與比較分析 第十六週　期末考試 第十七週 工業界相關應用與實例分析 第十八週 學術界相關應用與案例分析

評量方式

Case Review (10%) Final Exam (50%) Paper Review and Oral Report (40%)

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 “Scanning microscopy for nanotechnology : techniques andapplications”, Weilie Zhou and Zhong Lin Wang, New York : London : Beijing : Springer : Sciencep , 2007 “Scanning probe microscopy: characterization, nanofabrication and device application of functional materials”, Paula Maria Vilarinho, Yossi Rosenwaks and Angus Kingon, Dordrecht : Boston : Kluwer Academic Publishers , c2005. 材料分析Materials Analysis, 汪建民 主編，中國材料科學學會。