積體電路製程先進技術與設備

臺北科技大學 115-1 學期課程，課號 363556。

• 學期：115-1
• 授課教師：曾釋鋒
• 學分：3
• 選修
• 上課時段：週三 5、6、7 節

課程大綱

本課程涵蓋半導體產業趨勢發展、超大型(Giga)半導體工廠廠務系統與先進自動化工廠運作、以及先進半導體製程技術和設備等三大部分。 This course mainly consists of development trend, Giga FAB, FAB automation, and processing technology and equipment for advanced semiconductor manufacturing.

課程進度

週別 主題 授課講師 W1 半導體產業趨勢&製造流程 曾釋〇教授/PID 李建緯 經理 W2 超大型半導體工廠廠務系統&綠建築與節能 FAC 張智能 部經理 W3 先進自動化工廠運作 AMHS 陳蕙怡 部經理 W4 化學氣相沉積製程設備與技術 F15A CVD 洪家駿 部經理 W5 乾式蝕刻製程設備與技術 F15A ETC1 陳建宏 部經理 W6 AI 自動化在半導體設備的應用 CIM 古玉芳 部經理 W7 濕式蝕刻製程設備與技術 F15A WET 劉翊瑩 經理 W8 先進量測設備與技術 F15A 量測 張輔元 部經理 W9 期中考試 曾釋〇教授/TSMC W11 爐管及離子佈值製程設備與技術 F15A DIF1 李政恩 部經理 W10 參訪：台積 Fab 廠區參訪_F15A 曾釋〇教授/TSMC W12 光阻塗佈/曝光/顯影製程設備與技術 (一) F15A DUV 符策忠 技術經理 W13 光阻塗佈/曝光/顯影製程設備與技術 (二) F15B EUV EUV 陳慶賢 經理 W14 物理氣相沉積製程設備與技術 F15A PVD 鄭文正 部經理 W15 平坦化製程設備與技術 F15A CMP 陳曉〇 部經理 W16 期末考試 曾釋〇教授/TSMC W17、W18: 閱讀半導體相關報導或影片撰寫心得報告各一篇(須註明出處)

評量方式

1.期中考試：30% 2.期末考試：30% 3.平時作業及及期末報告：20% 4.出席：20% (出席率不得低於80%)

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自編教材