IC 製程

臺北科技大學 115-1 學期課程，課號 360773。

課程大綱

積體電路為現今社會最重要之高科技產業，本課程將提供學生半導體材料、物理性質、製程原理及元件架構等之基本概念，課程內容共分為三個部分：(1) 半導體材料與物理、(2) 半導體元件及基本概念、(3) 積體電路重要製程與設備。 Integrated circuits are among the most important high-technology industries in modern society. This course provides students with fundamental concepts related to semiconductor materials, physical properties, fabrication principles, and device structures. The course content is divided into 3 main sections: (1) Semiconductor Materials & Physics, (2) Semiconductor Devices and Fundamental Concepts, (3) Key Integrated Circuit Fabrication Processes and Equipment.

課程進度

第1週 09/10 課程內容簡介 Course Overview 第2週 09/17 晶體結構與矽半導體物理特性、半導體能帶與載子傳輸 Crystal structures & physical properties of silicon semiconductors, semiconductor energy bands & carrier transport 第3週 09/24 化合物半導體晶體結構與物理特性、半導體基礎元件 Crystal structures & physical properties of compound semiconductors, fundamental semiconductor devices 第4週 10/01 半導體基礎元件、接面能帶圖與費米能階、積體電路製程與佈局 Fundamental semiconductor devices, basic semiconductor devices, junction energy band diagrams, & Fermi energy levels, IC fabrication processes & layout design 第5週 10/08 半導體元件縮小化與先進奈米元件、高速與高功率元件 Semiconductor device scaling & advanced nanoscale devices, high-speed & high-power semiconductor devices 第6週 10/15 半導體光電元件 Semiconductor optoelectronic devices 第7週 10/22 矽晶棒生長、矽晶圓製作 Si crystal growth & wafer fabrication 第8週 10/29 矽磊晶生長、矽磊晶系統 Si epitaxial growth & epitaxial systems 第9週 11/05 期中考Middle examination 第10週 11/12 化合物半導體晶棒生長、化合物半導體磊晶生長 Compound semiconductor crystal growth & epitaxial growth 第11週 11/19 矽氧化膜生長、矽氧化膜生長機制 Growth mechanisms of silicon oxide films 第12週 11/26 擴散理論、離子佈植 Diffusion theory & ion implantation 第13週 12/03 微影技術 Photolithography technology 第14週 12/10 蝕刻技術 Etching technology 第15週 12/17 氣相沉積技術 Vapor deposition technology 第16週 12/24 期末考Final examination 第17週 12/31 實務案例討論(1) Case study (1) 第18週 01/07 實務案例討論(2) Case study (2)

評量方式

1. Participation 出席成績 (20%) 2. Midterm examination 期中考 (40%) 3. Final examination 期末考 (35%) 4. Thoughts and Reflections on the Flexible Learning Lecture 彈性學習講座心得 (5%)

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 李克駿、李克慧、李明逵，半導體製程概論，第四版，全華圖書，2021/09