先進半導體製程

臺北科技大學 114-2 學期課程，課號 359841。

• 學期：114-2
• 授課教師：張元震
• 學分：3
• 選修
• 上課時段：週二 2、3、4 節

課程大綱

本課程主要為半導體製程之基礎課程。教學目標為使學生了解半導體基礎知識，對於積體電路之前後段各站製程之原理與步驟有基礎認識。 本課程預計以英語授課方式進行。 This course is a fundamental course to introduce the basics of integrated circuit manufacturing process. The goal of the course is to provide the basic knowledge of general semiconductor and the principle and step of each front /back end of the semiconductor manufacturing processes. The course will be provided in English.

課程進度

第一週 導論 (Introduction) 第二週 積體電路生產簡介 (Introduction of IC process) 第三週 半導體材料 (Semiconductor Materials) 第四週 半導體材料 (Semiconductor Materials) 第五週 晶圓製造 (Wafer Fabrication Process) 第六週 熱製程 (Thermal Processing) 第七週 微影製程 (Lithography) 第八週 微影製程 (Lithography) 第九週 蝕刻 (Etching) / Mid-term Exam 第十週 蝕刻 (Etching) 第十一週 離子佈植 (Ion Implantation) 第十二週 離子佈植 (Ion Implantation) 第十三週 物理氣相沉積 (PVD) 第十四週 物理氣相沉積 (PVD) 第十五週 化學氣相沉積 (CVD) 第十六週 化學氣相沉積 (CVD) 第十七週 化學機械研磨 (CMP) 第十八週 Final Report

評量方式

期中考 以及 期末報告 Mid-term and Final report 占比於第一堂課公布 Percentage will be announced in syllabus and in the 1st class of the semester.

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 提供課程簡報 PPT will be provided.