微機電技術與應用

臺北科技大學 114-2 學期課程，課號 359417。

• 學期：114-2
• 授課教師：莊賀喬
• 學分：3
• 選修
• 上課時段：週四 A、B、C 節

課程大綱

微加工程序含MUMPS，打樣、沉積、蝕刻；設計工具含MEMCAD, Matlab, EM software, and Ansys 等；應用例含壓力感測器、加速度計、探針卡、微波元件、生物晶片等；最後介紹封裝與測試技術。

課程進度

1. Introduction to MEMS / Microsystems 2. Microelectronics Fabrication 3. CAD / CAM of MEMS 4. Mechanical Transducers 5. Microactuators 6. Thermal Transducers 7. Optical Microsystems 8. MEMS in Medicine and Biology 9. Microsystems Packaging

評量方式

作業 30% 出席 10% 期中測驗 30% 期末測驗 30%

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自編講義