真空設備專論

臺北科技大學 114-2 學期課程，課號 358216。

課程大綱

近年來由於台灣在半導體、平面顯示器、光電、薄膜、低溫冷凍、生物科技及微奈米技術等產業的蓬勃發展，因而帶動了真空設備相關產業，進而對真空科技及其專業人才需求日殷。本課程將針對上述產業所使用的相關真空設備進行講解及討論，包含有真空蒸鍍系統、真空濺鍍系統、真空冷凍乾燥系統、電漿蝕刻真空系統、真空熱處理系統、表面分析技術等，將使學生具備真空設備理論及實務的相關知識與技能。 The vacuum industry is growing fast in the past two decades because of the highly growing of the high-tech industries including semiconductor, optics-electrics, communication, MEMS, and nano-technology. Therefore, a lot of students need to know the vacuum system described previously. This program will introduce vacuum systems including vacuum evaporating system, vacuum sputtering system, vacuum drying system, vacuum plasma etching system, surface analysis.

課程進度

第01週2/27 : 和平紀念日補假 第02週3/06 : 教學大綱與進度說明與第一講 真空概論 第03週3/13 : 第一講_真空概論 (真空的定義、氣體分子動力原理) 第04週3/20 : 第二講_真空系統計算 (真空系統、氣導、抽氣速率) 第05週3/27 : 第三講_排氣式真空幫浦 (分類、種類介紹) 第06週4/03 : 清明節補假 第07週4/10 : 第四講_儲氣式真空幫浦(分類、種類介紹) (作業1) 第08週4/17 : 期中考 第09週4/24 : 115學年度四技二專統測試場(放假) 第10週5/01 : 勞動節放假 第11週5/08 : 第五講_真空度量、第六講_真空測量 第12週5/15 : 第七講_真空系統檢漏技術) 第13週5/22 : 第八講_真空系統汙染與清潔(作業2) 第14週5/29 : 第九講_真空冷凍乾燥 第15週6/05 : 第十講_真空鍍膜系統 第16週6/12 : 期末報告1 第17週6/19 : 端午節放假 第18週6/20 : 期末報告2 ※課程進度與作業要求將視學生學習情況適度調整。

評量方式

1.課堂問答(含出缺席) (18%) → 無故缺席扣2% /次 (事假扣1% /次) 2.期中考(筆試) (30 %) 3.期末考(報告) (30 %) 4.平時作業2次(22 %) ※評量項目與配分將視學生學習情況適度調整。

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 使用教材: 個人自編之講義 參考書目: 參考各章節講義參考書目之課堂說明內容