半導體尖端設備與關鍵元件

臺北科技大學 114-2 學期課程，課號 356205。

課程大綱

本課程沿續「積體電路製程先進技術與設備」課程，介紹半導體世代機台開發與製程應用、關鍵元件設計概念與應用，著重科學基礎知識如何應用在半導體產業。 As an extension of “Processing technology and equipment for advanced semiconductor manufacturing” course, this course focuses on how the scientific knowledge is connected and applied to the real development of tools and introduces the evolution of the design and application of semiconductor tools and key components.

課程進度

Week 上課時間 Course Vendor W1 02/25 先進光刻機演進與製程應用 ASML W2 03/04 爐管機台演進與製程應用 TEL W3 03/11 光阻塗佈&顯影機台演進與製程應用 TEL W4 03/18 PVD機台演進與製程應用 AMAT W5 03/25 運動會 W6 04/01 濕蝕刻機台演進與製程應用 Screen W7 04/08 磊晶機台演進與製程應用 ASM W8 04/15 Dry/turbo pump/Cryo pump Edward W9 04/22 期中考 W10 04/29 Chemical filter 科百特 W11 05/06 乾蝕刻機台演進與製程應用 Hitachi W12 05/13 CMP機台演進與製程應用 EBARA W13 05/20 Plasma generator system AE W14 05/27 Metrology 機台設計與量測應用 KLA W15 06/03 離子植入機台演進與製程應用 AMAT W16 06/10 Modeling and Simulation of Semiconductor Manufacturing Process Pitotech W17 06/17 Mass Flow Controller Horiba W18 06/24 期末考

評量方式

1.出席率：20% 2.期中考：40% 3.期末考：40%

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自訂教材