微機電工程與應用

臺北科技大學 114-2 學期課程，課號 354019。

課程大綱

先修課程: 負責教授同意。本課程目的在介紹蓬勃發展中的微機電系統(micro-electro-mechanical systems, MEMS)工程與最新應用。其內容包括 : MEMS之概念與特性、微觀設計原則、跨領域模擬分析、加工材料分類、主要製程技術介紹、封裝與測試技術、微感測器與微致動器、工程應用實例介紹

課程進度

1. 概述 2. 微機電系統與微系統概論 3. 微系統的工作原理 4. 微系統設計和製造的工程科學 5. 微系統工程力學 6. 熱流工程和微系統設計 7. 微小化的縮放律 8. 微機電系統和微系統用材料 9. 期中考 10. 微系統設計 11. 微製造技術 12. 微機電系統製程介紹 13. 微系統封裝 14. 實習 – 微蝕刻製程 15. 實習 – 光微影製程 16. 實習 – MEMS模擬技術 17. 期末報告

評量方式

期中考 : 40 % 期末報告: 40 % 實習與上課表現: 20 %

教材

【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 Tai-Ran Hsu, MEMS & Microsystems Design and Manufacture，McGraw-Hill, ISBN-978-957-493-7769. (中文版) 微機電系統與微系統設計與製造